聲明

摘要

第一章 緒論

1．1 微型薄膜鋰離子電池的發(fā)展概況與應(yīng)用

1．1．1 薄膜鋰離子電池發(fā)展歷史

1．1．2 薄膜鋰離子電池的工作原理

1．1．3 薄膜鋰離子電池發(fā)展遇到的瓶頸及問題

1．2 薄膜鋰電池的薄膜材料研究進展

1．2．1 薄膜鋰離子電池的正極材料研究進展

1．2．2 薄膜鋰離子電池電解質(zhì)材料研究進展

1．2．3 薄膜鋰離子電池的負極材料研究進展

1．3 全固態(tài)薄膜鋰離子電池的結(jié)構(gòu)

1．3．1 二維結(jié)構(gòu)

1．3．2 三維結(jié)構(gòu)

1．4 本論文的主要內(nèi)容

參考文獻

第二章 氧化釩薄膜的結(jié)構(gòu)、性能、制備及研究方法

2．1 氧化釩的晶體結(jié)構(gòu)與性質(zhì)

2．1．1 五氧化二釩(V2O5)

2．1．2 二氧化釩(V2O2)

2．1．3 三氧化二釩(V2O3)

2．2 制備氧化釩薄膜的技術(shù)

2．3 薄膜材料的物理結(jié)構(gòu)表征

2．3．1 X射線衍射(XRD)

2．3．2 掃描電鏡(SEM)

2．3．3 X射線光電子能譜(XPS)

2．4 薄膜材料的電化學(xué)測試

2．4．1 循環(huán)伏安測試(CV)

2．4．2 恒流源充放電測試

參考文獻

第三章 全固態(tài)薄膜鋰離子電池陰極薄膜制備及表征

3．1 氧化釩薄膜的制備

3．1．1 硅片預(yù)處理及表面氧化

3．1．2 氧化釩薄膜的制備

3．2 氧化釩薄膜的物理結(jié)構(gòu)表征

3．2．1 氧化釩薄膜的半導(dǎo)體特性測試(IV)

3．2．2 氧化釩薄膜的X射線衍射分析(XRD)

3．2．3 氧化釩薄膜的掃描電鏡表征(SEM)

3．2．4 氧化釩的X射線光電子能譜測試(XPS)

3．3 氧化釩薄膜的電化學(xué)性質(zhì)測試

3．3．1 電極片的制作及模擬電池的組裝

3．3．2 氧化釩循環(huán)伏安測試(CV)

3．3．3 氧化釩恒流源充／放電測試

3．4 本章小結(jié)

參考文獻

第四章 鋰離子電池的實驗制備

4．1 MEMS工藝簡介

4．1．1 MEMS加工工藝簡介

4．1．2 MEMS加工工藝使用試劑和儀器

4．2 制備流程

4．2．1 二維結(jié)構(gòu)設(shè)計

4．2．2 二維結(jié)構(gòu)制備工藝流程

4．2．3 三維結(jié)構(gòu)設(shè)計及制備流程

4．2．4 全固態(tài)微型薄膜鋰離子電池的封裝

4．3 微型鋰離子電池測試結(jié)果

4．4 本章小結(jié)

參考文獻

第五章 工作總結(jié)與展望

5．1 工作總結(jié)

5．2 展望

致謝

作者攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表論文