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Simulations of a miniaturized scanning electron microscope.

機譯：小型掃描電子顯微鏡的仿真。

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摘要

This research was in support of the development of a miniaturized scanning electron microscope (mini-SEM). Commercially available electron microscopes are large which requires scientist to transport materials for investigation back to the lab. The objective of this investigation was to determine the conditions for optimal performance of the mini-SEM; therefore, the significant results were those related to the current and resolution of the resulting electron beam at the sample plane. The current incident on the sample plane depends on the amount of current produced by the electron gun and then transmitted through various apertures in the electron focusing column of the mini-SEM. Two electron gum types and the electron focusing column were simulated and comparisons were made to experimental results to provide optimized working conditions.
機譯：這項研究支持微型掃描電子顯微鏡（mini-SEM）的發(fā)展。市售的電子顯微鏡很大，需要科學家將用于研究的材料運回實驗室。這項研究的目的是確定mini-SEM最佳性能的條件。因此，重要的結果是與樣品平面上電子束的電流和分辨率有關的結果。入射到樣品平面上的電流取決于電子槍產(chǎn)生的電流量，然后再通過mini-SEM的電子聚焦柱中的各個孔傳輸。模擬了兩種電子膠和電子聚焦柱，并與實驗結果進行了比較，以提供最佳的工作條件。

著錄項

  • 作者

    Medley, Stephanie Karen.;

  • 作者單位

    The University of Alabama in Huntsville.;

  • 授予單位 The University of Alabama in Huntsville.;
  • 學科 Physics Optics.
  • 學位 M.S.
  • 年度 2012
  • 頁碼 182 p.
  • 總頁數(shù) 182
  • 原文格式 PDF
  • 正文語種 eng
  • 中圖分類 TS97-4;
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