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Measurement of electrical self-heating for thermal characterization of MEMS and NEMS structures

機譯：用于MEMS和NEMS結構熱特性的電自熱測量

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作者
Sayer, Robert A.;
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作者單位

Purdue University.;

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授予單位 Purdue University.;
學科 Mechanical engineering.;Nanoscience.
學位 Ph.D.
年度 2011
頁碼 243 p.
總頁數 243
原文格式 PDF
正文語種 eng
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