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Laser beam processing of silicon: Aspects of laser annealing and study of laser recrystallization for silicon-on-insulator material and devices

機(jī)譯：硅的激光束處理：絕緣體上硅材料和器件的激光退火和激光重結(jié)晶研究

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作者
Wouters, Dirk;
展開(kāi)▼
作者單位

Katholieke Universiteit Leuven (Belgium);

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授予單位 Katholieke Universiteit Leuven (Belgium);
學(xué)科
學(xué)位 Dr.
年度 1989
頁(yè)碼 479 p.
總頁(yè)數(shù) 479
原文格式 PDF
正文語(yǔ)種 eng
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