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基于Ag微孔陣列結(jié)構(gòu)電極的MgZnO紫外探測器制備和特性

     
  • 摘要
  • 著錄項(xiàng)
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  • 相關(guān)主題

摘要

通過金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)方法在藍(lán)寶石襯底上生長了MgZnO薄膜,結(jié)合光刻和聚苯乙烯(PS)小球模板技術(shù),制備了基于Ag微孔陣列電極結(jié)構(gòu)的MgZnO紫外探測器。與基于常規(guī)金屬薄膜電極的器件相比,基于微孔陣列叉指電極的MgZnO基紫外探測器的光電流提高近6倍,同時(shí)其暗電流和響應(yīng)時(shí)間基本保持不變。通過紫外-可見透射光譜和電學(xué)性質(zhì)等表征,討論了Ag微孔陣列結(jié)構(gòu)電極對MgZnO薄膜紫外光電探測性能的影響機(jī)制。本研究為制備高性能紫外探測器提供了一條可行的途徑。

著錄項(xiàng)

  • 來源
    《發(fā)光學(xué)報(bào)》 |2021年第2期|P.201-207|共7頁
  • 作者單位

    中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所發(fā)光學(xué)及應(yīng)用國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 吉林長春130033中國科學(xué)院大學(xué)材料科學(xué)與光電工程研究中心 北京100049;

    中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所發(fā)光學(xué)及應(yīng)用國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 吉林長春130033中國科學(xué)院大學(xué)材料科學(xué)與光電工程研究中心 北京100049;

    中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所發(fā)光學(xué)及應(yīng)用國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 吉林長春130033中國科學(xué)院大學(xué)材料科學(xué)與光電工程研究中心 北京100049;

    中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所發(fā)光學(xué)及應(yīng)用國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 吉林長春130033中國科學(xué)院大學(xué)材料科學(xué)與光電工程研究中心 北京100049;

    中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所發(fā)光學(xué)及應(yīng)用國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 吉林長春130033中國科學(xué)院大學(xué)材料科學(xué)與光電工程研究中心 北京100049;

    中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所發(fā)光學(xué)及應(yīng)用國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 吉林長春130033中國科學(xué)院大學(xué)材料科學(xué)與光電工程研究中心 北京100049;

  • 原文格式 PDF
  • 正文語種 chi
  • 中圖分類 O472.8;
  • 關(guān)鍵詞

    MgZnO; 紫外探測器; 聚苯乙烯; 微孔陣列;

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