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用于血樣前處理的BioMEMS微流控芯片

     
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摘要

基于BioMEMS技術(shù)，研制成三種血液樣品前處理微流控芯片，分別介紹了血樣前處理微流控芯片的原理、結(jié)構(gòu)、制備技術(shù)以及樣品前處理效果．基于錯流過濾原理，設(shè)計(jì)了用于血細(xì)胞分離的錯流過濾微結(jié)構(gòu)，采用深刻蝕技術(shù)在硅片上刻蝕出直徑為20μm，高度為50μm的圓柱陣列；基于化學(xué)法破裂細(xì)胞，設(shè)計(jì)了用于血細(xì)胞破裂的夾流式微溝道，采用濕法腐蝕技術(shù)在硅片上腐蝕出深度約為80μm的微溝道；基于固相萃取原理，設(shè)計(jì)了用于DNA提純的介孔固相載體，采用電化學(xué)陽極腐蝕技術(shù)在硅微溝道內(nèi)表面制得表面積為300m2／g的介孔層．分別在芯片上實(shí)現(xiàn)了血細(xì)胞的分離、血細(xì)胞的破裂以及DNA的提純．

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