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諸政; 呂世濤; 張敖宇; 孫海燕; 趙繼聰;
南通大學(xué)信息科學(xué)技術(shù)學(xué)院;
微機電系統(tǒng); 壓電諧振器; 制備工藝; 錨點損耗; 品質(zhì)因數(shù);
機譯:用于醫(yī)療保健和環(huán)境應(yīng)用的支撐幾何形狀對壓電環(huán)形諧振器的頻移和支撐損耗的影響的分析研究
機譯:高Q多頻環(huán)形壓電MEMS諧振器
機譯:利用LAMB波的壓電MEMS盤形和環(huán)形諧振器
機譯:適用于UHF應(yīng)用的低運動阻力環(huán)形輪廓模式氮化鋁壓電微機械諧振器
機譯:用于射頻信號處理的壓電氮化鋁MEMS諧振器。
機譯:SOI基板上的輪廓模式MEMS ALN壓電環(huán)諧振器的溫度特性
機譯:壓電氮化鋁振動輪廓模式MEMS諧振器
機譯:mEms壓電諧振器的頻率合成
機譯:壓電諧振器支撐結(jié)構(gòu)和包括該壓電諧振器支撐結(jié)構(gòu)的壓電部件
機譯:壓電諧振器支撐結(jié)構(gòu)和包括該壓電諧振器的壓電部件
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