【機譯】 從樣品中分離生物成分的方法和裝置

【機譯】 微機械部件及其制造方法

【機譯】 微機械聲換能器

【機譯】 在微機械晶片上生產(chǎn)阻尼器結(jié)構(gòu)的方法

【機譯】 電容式傳感器或開關(guān)設(shè)備的微機械組件

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【機譯】 傳感器裝置和用于制造傳感器裝置的方法

【機譯】 電子模塊及其制造方法

【機譯】 光學(xué)濾波器的電容器裝置

【機譯】 制備離子阱的方法

【機譯】 微機械結(jié)構(gòu)與制造工藝

【機譯】 光學(xué)系統(tǒng)

【機譯】 微機械部件和形成層結(jié)構(gòu)的方法

【機譯】 用于微機械干涉儀裝置的鏡裝置，微光譜儀裝置以及用于制造微光譜儀裝置的方法

【機譯】 用于工件的超高分辨率修改，尤其是物理材料去除或內(nèi)部材料更換的方法

【機譯】 生產(chǎn)MEMS結(jié)構(gòu)的方法及相應(yīng)的MEMS結(jié)構(gòu)

【機譯】 組合泵傳感器布置

【機譯】 微機械結(jié)構(gòu)，微機械系統(tǒng)和用于提供微機械結(jié)構(gòu)的方法