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【2h】

用于光取向的曝光頭和曝光系統(tǒng)

機(jī)譯：用于光取向的曝光頭和曝光系統(tǒng)

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摘要

本實(shí)用新型提出了一種用于光取向的曝光頭和使用該曝光頭的用于光取向的曝光系統(tǒng)，其中，該曝光頭包括多個(gè)平行光單元和曝光頭控制單元，該曝光系統(tǒng)包括：曝光室和設(shè)置在曝光室內(nèi)的曝光頭?；迤叫杏谄毓忸^的出射面設(shè)置在曝光頭的下方，以在曝光頭的照射下曝光。本實(shí)用新型公開的用于光取向的曝光頭和曝光系統(tǒng)中，通過將組成曝光頭的多個(gè)平行光單元傾斜設(shè)置使以特定角度照射到基板上的光線到達(dá)基板的距離相同，從而使基板收到均勻的光照強(qiáng)度，可以實(shí)現(xiàn)更加穩(wěn)定的曝光效果。

著錄項(xiàng)

  • 作者單位
  • 年(卷),期 2019(),
  • 年度 2019
  • 頁碼
  • 總頁數(shù) 15
  • 原文格式 PDF
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  • 中圖分類
  • 網(wǎng)站名稱 香港科技大學(xué)圖書館
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