機譯:集成了微透鏡陣列的二維MEMS平臺用于激光束轉(zhuǎn)向
機譯:使用MEMS可控微透鏡陣列進行光束轉(zhuǎn)向
機譯:使用微透鏡陣列的高分辨率光束轉(zhuǎn)向
機譯:MEMS階段與微透鏡陣列集成,用于高分辨率梁轉(zhuǎn)向
機譯:使用硅微機械和混合集成微機電系統(tǒng)(MEMS)進行光相位調(diào)制光束控制。
機譯:高效率激光均質(zhì)化隨機微透鏡陣列的制作
機譯:集成了微透鏡陣列的MEMS平臺用于高分辨率光束轉(zhuǎn)向
機譯:使用二元光學(xué)微透鏡陣列的敏捷光束控制