公開/公告號(hào)DE102021205152A1
專利類型
公開/公告日2021-12-02
原文格式PDF
申請(qǐng)/專利權(quán)人 DISCO CORPORATION;
申請(qǐng)/專利號(hào)DE202110205152
發(fā)明設(shè)計(jì)人 NOBUYUKI FUKUSHI;
申請(qǐng)日2021-05-20
分類號(hào)H01L21/463;H01L21/683;
國(guó)家 DE
入庫時(shí)間 2024-06-14 22:23:18