摘要

1緒論

1．1研究背景

1．2OCT內(nèi)窺顯微成像探頭國內(nèi)外研究現(xiàn)狀

1．2．1MEMS-OCT內(nèi)窺顯微成像探頭研究現(xiàn)狀

1．2．2MEMS-OCT內(nèi)窺顯微成像探頭視場增強(qiáng)技術(shù)研究現(xiàn)狀

1．3論文研究內(nèi)容和章節(jié)安排

2光學(xué)相干斷層成像技術(shù)

2．1光學(xué)相干斷層成像技術(shù)基本原理

2．1．1OCT系統(tǒng)基本原理

2．1．2OCT系統(tǒng)的橫向分辨率

2．1．3OCT系統(tǒng)的縱向分辨率

2．2OCT系統(tǒng)分類

2．2．1時域OCT技術(shù)

2．2．2頻域OCT技術(shù)

2．2．3掃頻光源OCT技術(shù)

2．3 MEMS-OCT掃描裝置

2．3．1側(cè)向掃描

2．3．2端部掃描

2．4探頭設(shè)計指標(biāo)

2．5本章小結(jié)

3 MEMS-OCT內(nèi)窺顯微成像探頭設(shè)計及組裝

3．1MEMS微鏡

3．1．1Bimorph執(zhí)行器

3．1．2電熱驅(qū)動MEMS微鏡

3．2MEMS探頭設(shè)計

3．2．1MEMS探頭光學(xué)設(shè)計及仿真

3．2．2機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計

3．2．3電路設(shè)計

3．3探頭組裝

3．4探頭性能測試

3．4．1視場角測試

3．4．2工作距離和橫向分辨率測試

3．5本章小結(jié)

4基于視場增強(qiáng)的MEMS-OCT內(nèi)窺顯微成像探頭研究

4．1視場增強(qiáng)原理

4．2填充液體材料選型

4．3不同液體中MEMS微鏡特性

4．3．1封裝裝置介紹

4．3．2不同填充液體中靜態(tài)光學(xué)角度的研究

4．3．3不同填充液體中諧振頻率的研究

4．3．4不同填充液體中響應(yīng)時間的研究

4．3．5液體吸收譜對光強(qiáng)影響的研究

4．4視場增強(qiáng)的MEMS-OCT探頭性能測試

4．4．1視場角測試

4．4．2工作距離和橫向分辨率測試

4．5本章小結(jié)

5結(jié)論與展望

參考文獻(xiàn)

攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表的論文及成果

致謝

聲明