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黃玉波; 栗大超; 胡小唐; 胡春光; 張文棟; 徐臨燕;
天津大學精密測試技術及儀器國家重點實驗室,天津300072;
中北大學電子測試技術國家重點實驗室,太原030051;
MEMS/NEMS; 表面輪廓測量; 模板; 相位解包裹; 邊緣檢測;
機譯:基于相位檢索技術的光學3D表面輪廓儀,用于微表面的過程中測量
機譯:基于在線相位測量輪廓測定中相位特征提取的快速像素匹配方法
機譯:使用開口同軸探頭對基于標量反射系數(shù)的復介質(zhì)常數(shù)和復磁導率進行無損同時測量,以及基于法蘭開口同軸探頭同時測量高損耗材料的復介電常數(shù)和復磁導率,作為無損測量方法備受關注。 但是,在這種方法中,同軸探頭和被測樣品必須緊密接觸,如果由于樣品表面的粗糙度,探頭與樣品表面之間存在非常小的氣隙,則會對復雜材料常數(shù)的測量產(chǎn)生很大的影響。 本文提出并研究了一種具有較高魯棒性的“基于標量反射系數(shù)(振幅)的膜厚變化法”,以改善傳統(tǒng)“膜厚變化法(基于矢量反射系數(shù))”同時測量復雜材料常數(shù)的缺點,也要求相位特性大誤差。 通過實驗和仿真驗證了所提方法的有效性和有效性。
機譯:基于區(qū)域劃分的相對可靠性導引相位解纏算法及其在車輪輪廓測量中的應用
機譯:用于MEMS和NEMS結構熱特性的電自熱測量
機譯:MEMS和/或NEMS結構的制造方法,所述MEMS和/或NEMS結構包括至少兩個從所述支撐件懸置在與所述支撐件不同距離處的元件
機譯:3-D結構光系統(tǒng)中的雙頻相位復用(DFPM)和周期編碼相位測量(PCPM)模式策略以及基于查找表(LUT)的數(shù)據(jù)處理
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