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用于檢查多個測量物體的材料屬性的設(shè)備

摘要

一種檢查設(shè)備包括光源。第一測量單元被配置為接收來自光源的光并將其引導(dǎo)到第一測量物體。第二測量單元被配置為接收來自光源的光并將其引導(dǎo)到第二測量物體。檢查單元被配置為接收從第一測量單元提供的第一光信號并且使用第一光信號檢查第一測量物體,并且接收從第二測量單元提供的第二光信號并且使用第二光信號檢查第二測量物體。測量位置選擇單元被配置為通過調(diào)整反射鏡的角度來交替地啟用兩個測量單元的檢查。

著錄項(xiàng)

  • 公開/公告號CN109507190A

    專利類型發(fā)明專利

  • 公開/公告日2019-03-22

    原文格式PDF

  • 申請/專利權(quán)人 三星電子株式會社;

    申請/專利號CN201811066403.0

  • 發(fā)明設(shè)計(jì)人 安泰興;金英德;樸相吉;樸峻范;巖陽一郎;田炳煥;

    申請日2018-09-13

  • 分類號G01N21/88(20060101);

  • 代理機(jī)構(gòu)11105 北京市柳沈律師事務(wù)所;

  • 代理人邵亞麗

  • 地址 韓國京畿道

  • 入庫時(shí)間 2024-02-19 07:58:30

法律信息

  • 法律狀態(tài)公告日

    法律狀態(tài)信息

    法律狀態(tài)

  • 2019-03-22

    公開

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