公開/公告號CN104755583B
專利類型發(fā)明專利
公開/公告日2017-05-17
原文格式PDF
申請/專利權(quán)人 浜松光子學(xué)株式會社;
申請/專利號CN201380055517.4
申請日2013-09-06
分類號C09K11/00(20060101);C09K11/79(20060101);C09K11/80(20060101);H01J63/06(20060101);
代理機構(gòu)11322 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司;
代理人楊琦;黃浩
地址 日本靜岡縣
入庫時間 2022-08-23 09:56:32
法律狀態(tài)公告日
法律狀態(tài)信息
法律狀態(tài)
2017-05-17
授權(quán)
授權(quán)
2015-07-29
實質(zhì)審查的生效 IPC(主分類):C09K 11/00 申請日:20130906
實質(zhì)審查的生效
2015-07-01
公開
公開
機譯: 紫外線發(fā)電靶,制造紫外光靶的方法,以及電子束激發(fā)紫外光源
機譯: 紫外光發(fā)生的靶,電子束激發(fā)的紫外光源和透射生產(chǎn)方法學(xué)的紫外光的基板
機譯: 極紫外光源,極紫外光源靶和制造極紫外光源靶的方法