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紫外光產(chǎn)生用靶、電子束激發(fā)紫外光源、以及紫外光產(chǎn)生用靶的制造方法

摘要

一種紫外光產(chǎn)生用靶,其具備透射紫外光的基板、和設(shè)置在基板上接受電子束而產(chǎn)生紫外光的發(fā)光層。發(fā)光層包含由添加有活化劑的含有Lu和Si的氧化物多晶構(gòu)成的多晶膜、或者包含由添加有活化劑的含稀土類的鋁石榴石多晶構(gòu)成的多晶膜。

著錄項

法律信息

  • 法律狀態(tài)公告日

    法律狀態(tài)信息

    法律狀態(tài)

  • 2017-05-17

    授權(quán)

    授權(quán)

  • 2015-07-29

    實質(zhì)審查的生效 IPC(主分類):C09K 11/00 申請日:20130906

    實質(zhì)審查的生效

  • 2015-07-01

    公開

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