法律狀態(tài)公告日
法律狀態(tài)信息
法律狀態(tài)
2017-10-24
授權(quán)
授權(quán)
2015-07-22
實質(zhì)審查的生效 IPC(主分類):C09K 11/00 申請日:20130906
實質(zhì)審查的生效
2015-07-22
實質(zhì)審查的生效 IPC(主分類):C09K 11/00 申請日:20130906
實質(zhì)審查的生效
2015-06-24
公開
公開
2015-06-24
公開
公開
機(jī)譯: 紫外線發(fā)電靶,制造紫外光靶的方法,以及電子束激發(fā)紫外光源
機(jī)譯: 紫外光發(fā)生的靶,電子束激發(fā)的紫外光源和透射生產(chǎn)方法學(xué)的紫外光的基板
機(jī)譯: 極紫外光源,極紫外光源靶和制造極紫外光源靶的方法