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MEMS/NEMS表面3-D輪廓測(cè)量中基于模板的相位解包裹方法

     
  • 摘要
  • 著錄項(xiàng)
  • 相似文獻(xiàn)
  • 相關(guān)主題

摘要

相位解包裹是使用相移顯微干涉法測(cè)量MEMS/NEMS表面3-D輪廓時(shí)的重要步驟.本文針對(duì)普通的相位解包裹方法在復(fù)雜輪廓或包含非理想數(shù)據(jù)區(qū)的表面輪廓測(cè)量中的局限性,提出一種基于模板的廣度優(yōu)先搜索相位展開(kāi)方法.通過(guò)模板的使用,先將非相容區(qū)域標(biāo)記出來(lái),在相位解包裹的過(guò)程中繞過(guò)這些區(qū)域,即可得到準(zhǔn)確可靠的相位展開(kāi)結(jié)果.通過(guò)具體的應(yīng)用實(shí)例可以證明,使用不同模板可以根據(jù)不同應(yīng)用的需要靈活而準(zhǔn)確地實(shí)現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)表面3-D輪廓測(cè)量中的相位展開(kāi).

著錄項(xiàng)

  • 來(lái)源
    《傳感技術(shù)學(xué)報(bào)》 |2006年第5期|1488-1492|共5頁(yè)
  • 作者單位

    天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,天津,300072;

    天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,天津,300072;

    天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,天津,300072;

    天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,天津,300072;

    中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,太原,030051;

    天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,天津,300072;

  • 原文格式 PDF
  • 正文語(yǔ)種 chi
  • 中圖分類 自動(dòng)化技術(shù)及設(shè)備;
  • 關(guān)鍵詞

    MEMS/NEMS; 表面輪廓測(cè)量; 模板; 相位解包裹; 邊緣檢測(cè);

相似文獻(xiàn)

  • 中文文獻(xiàn)
  • 外文文獻(xiàn)
  • 專利
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